M-CIS

形: 高アスペクト比, コーン形, EBD

高さ: 19 µm (15 - 20 µm)*

セットバック: 15 µm (5 - 25 µm)*

スパイク鋭さ: 10 nm (8 - 12 nm)

スパイク長さ: 400 nm (300 - 500 nm)

スパイクハーフコーンアングル: <4° 

アスペクト比: >5

スパイク傾斜補正: 13° (精度 1°)

形: ビーム

ばね定数: 40 N/m (20 - 60 N/m)*

共振周波数: 320 kHz (270 - 370 kHz)*

長さ: 120 µm (115 - 125 µm)*

幅: 30 µm (28 - 32 µm)*

厚さ: 4.4 µm ( 3.9 - 4.9 µm)*

* 典型レンジ