キャリブレーショングレーティングTGXYZシリーズは、SiウェハにSiO2 のステップアレイを加工したものです。Siの中心部分、500µm角の範囲に、円柱と円形穴、５μmピッチのX方向、Y方向のラインが刻まれています。1mm角の大きな四角形エリアには角柱と四角形穴が10μmピッチで作られています。
ステップ高さはグレーティング全体で計算されています。実際のステップ高さhは、測定箇所によってはノミナル値と異なる場合があります。
TGXYZ キャリブレーショングレーティングはSPMスキャナのXY方向及びZ方向のキャリブレーションを行うためのものです。
Z方向の非線形を補正するには、異なるノミナルステップ高さを持つサンプルを使用する必要があります。
TGXYZ キャリブレーショングレーティングの正確な定量計測には、Image Metrology社のScanning Probe Image Processor (SPIP)をお使いいただけます。
