TGF11

ラテラルフォースキャリブレーション、スキャナ非線形性評価用グレーティング

シリコンキャリブレーショングレーティングTGFシリーズは、台形状のステップアレイをシリコン基板にエッチングしたものです。ストラクチャの側壁は、単結晶シリコンシリコンの111面に沿って加工してあり、非常に滑らかです。

シリコン基板の(111)面に沿って異方性エッチングで鋭いエッジを持つ四角形穴のアレイを加工してあります。

側壁と上面の角度は非常に再現性良く加工されています。

• エッジアングル54.74°
• 有効範囲　3x3㎜
• ステップ高さ 　約1µm (垂直方向のキャリブレーションの目的にはお使いいただけませんのでご注意ください)
• チップサイズ 5x5x0.3mm

TGF11グレーティングは、Z方向のスキャナの非線形性評価にお使いいただけます。

また、平坦面と斜面のカンチレバーの応答を解析することで、ラテラルフォースのキャリブレーションも可能です。

市販のシリコンカンチレバーや最大半径2μmまでのコロイドプローブをキャリブレーションできます。